1、离子束抛光机IFS300A
离子束抛光机
双真空室，快速更换工件，离子束抛光生产效率高。
集成法拉第杯和三坐标测头，法拉第杯测量离子束空间位置及分布，三坐标侧头测量工件空间位置及姿态，从而建立精准加工坐标系，实现高确定性、高精度的离子束抛光，有效消除中高频误差。
工件侧立式装夹，离子束抛光操作方便、可靠、稳定。
无线操作手柄，
离子束抛光控制软件高度集成、智能；离子束抛光保护措施完善，具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等。
离子束抛光机IFS300A技术参数：
名称 参数
加工能力（最大工件尺寸） 300mm×300mm
厚度 100mm
可加工面形 平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等
可加工材料 石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等
可加工精度 亚纳米加工精度、可实现面形RMS＜1nm超高精度加工
X轴行程 ≥300mm
Y轴行程 ≥300mm
Z轴行程 ≥300mm
离子源 美国Veeco HC 5cm / 德国射频离子源
中和器 美国 Veeco HCN / 德国
工作真空建立时间 ≤1 hours
副室真空建立时间 ≤15 min
X轴最大运动速度 5m/min
Y轴最大运动速度 5m/min
Z轴最大运动速度 3m/min
运动轴重复定位精度 ≤±0.01mm
保护功能 具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等
智能功能 具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。
外形尺寸 长宽高：2.5x2.5x2.1m
整机重量 4吨
能耗功率 Max:12KW Avg:5KW
2、离子束抛光机IFS1000-600B
双真空室，快速更换工件，离子束抛光生产效率高。
集成法拉第杯和三坐标测头，法拉第杯测量离子束空间位置及分布，三坐标侧头测量工件空间位置及姿态，从而建立精准加工坐标系，实现高确定性、高精度的离子束抛光，有效消除中高频误差。
工件侧立式装夹，离子束抛光操作方便、可靠、稳定。
无线操作手柄。
离子束抛光控制软件高度集成、智能；离子束抛光保护措施完善，具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等。
智能功能：具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。
离子束抛光机IFS1000-600B参数：
名称 参数
加工能力（最大工件尺寸）1000×600mm，250mm厚
可加工面形 平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等；
可加工材料 石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等；
加工光学元件精度 亚纳米加工精度、可实现面形RMS＜1nm超高精度加工；
X轴行程 ≥1100mm
Y轴行程 ≥700mm
Z1轴行程 ≥300mm
Z2轴行程 ≥300mm
离子源 美国Veeco HC 5cm / 德国射频源
工作真空建立时间 ≤1 hours
副室真空建立时间 ≤15 min
X轴最大运动速度 5m/min
Y轴最大运动速度 5m/min
Z轴最大运动速度 3m/min
运动轴重复定位精度 ≤±0.01mm
保护功能 具备意外断电、断水、断气故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等
智能功能 具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。
外形尺寸 长宽高：3.8×3.2×2.6m
整机重量 9吨
能耗功率 Max:18KW Avg:7KW
3、离子束抛光机IFS1300C
咨询电话：13522079385
智能功能：具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。
公司研发团队在非球面超精密抛光加工方面具有20年的工艺开发和设备研制经验,秉承“诚信、创新、合作、共赢”的经营理念，与客户共创未来。
离子束抛光机IFS1300C技术参数：
名称 参数
加工能力（最大工件尺寸） 1300mm×1300mm
厚度 500mm
X轴行程 ≥1300mm
Y轴行程 ≥1300mm
Z轴行程 ≥300mm
离子源 德国射频离子源
中和器 德国
最大束电压 2000V
最大束电流 1000mA
束流密度测量 法拉第杯/探针
阴极Tip寿命 150-1000 hours
去除函数 高斯型、稳定性≥95%
工作真空 5×10-3pa
工作真空建立时间 ≤1.5 hours
副室真空建立时间 ≤30 min
X轴最大运动速度 8m/min
Y轴最大运动速度 8m/min
Z轴最大运动速度 5m/min
运动轴重复定位精度 ≤±0.01mm
保护功能 具备意外断电、断水、断气故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等
智能功能 具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。
外形尺寸 长宽高：6×5×3m
整机重量 15吨
能耗功率 Max:26KW Avg:8KW