
从一块硅片到一颗芯片的诞生,要经过氧化、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等复杂工序,上下游设备零部件对尺寸公差、表面光洁度要求极高。我们主要聚焦两大板块精密零件加工:
1→前工序----晶圆制造设备核心件
2→后工序----真空&传输系统零件








S、M、W、HU等系列机型矩阵,可适配从微小精密零件到大型五轴复杂件的不同加工需求。




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优势1:
实用核心功能,保障量产稳定性
·高速高效加工模式:智能加减速控制,保持品质,提升产能
·热位移补偿:精准补偿误差,无需暖机保证长时间加工精度
·刀具负载监控:实时监测刀具状态与加工负载,智能预警异常,降低报废率
优势2:
硬核性能支撑加工上限
·快速换刀:换刀仅需0.7秒,有效提升整体加工效率
·Z轴高加速:Z轴加速度达2.4G,适配高速钻孔作业
·高转速主轴:主轴最高27000转,可完成各类微小孔加工
·超高定位精度:双向重复定位精度<0.004mm,保障批量产品加工一致性
优势3:
脆性材料设备保护改造
适配单晶硅、石英玻璃等易崩裂脆性材料,全套改造方案兼顾设备寿命与加工品质。
·防尘防护系统:专属吸尘防护罩收集粉尘,降低部件磨损
·专业技术支持:设有专业加工技术部门,提供设备改造、工艺优化和现场支持