实现工作台最小驱动10纳米
通过采用本社制造的陶瓷制空气滑块和直线电机，世界首次搭载了完全非接触XY直交工作台。并通过搭配使用高分解能光栅尺，实现工作台最小驱动单位10纳米。

标准搭载高性能加工液冷却装置
通过标准搭载高性能加工液冷却装置，维持稳定的超精密加工。

主要构造采用陶瓷
由于采用直线电机驱动方式，无需使用滚珠丝杠，避免了传送机构部件产生扭曲或磨损。此外，通过在主要构造材料中采用陶瓷材质，保证了长期稳定的高精度。